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    東尼電子:SiC襯底產能迅速擴張,加速國產化進程

    文章出處:慧博資訊網責任編輯:作者:daw人氣:-發表時間:2022-10-10 17:00:00【

    據慧博資訊公眾號介紹:東尼電子公司從2017年開始儲備研發碳化硅項目,由葉國偉博士和張忠杰博士牽頭,技術由企業自主研發并已獲得認可,打樣送檢結果良好。2021年,公司總投資4.69億元,聚焦碳化硅半導體材料生產,計劃達產12萬片/年,目前已有50余臺長晶爐完成安裝調試,約100臺長晶爐正在安裝調試階段,上述長晶爐及配套切磨拋設備全部安裝完成后,預計形成6萬片/年的產能。

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